上海优睿谱半导体装备有限公司（简称“优睿谱”）10月23日于官方微信公布，公司近日发布全新产物系列：暗场无图形晶圆缺陷检测装备 LSRVision，并乐成交付海内头部客户。
据先容，LSRVision系列产物是专用在晶圆外貌缺陷检测，如Particle，Scratch，Crack, Slipline, Hex Bump, Epi, Shower Head, Crescent, Pit等多种缺陷，最高可检测60nm尺寸的颗粒；经由过程适配差别波长的激光器，可广泛运用在碳化硅衬底及外延片外貌缺陷检测，氮化镓（GaN）&氧化镓（Ga2O3）衬底及外延片外貌缺陷检测，硅、砷化镓（GaAs）&磷化铟（InP）衬底及外延片外貌缺陷检测。
与传统线扫&照相模式的AOI（Auto Optical Inspection）检测技能比拟，优睿谱LSR系列装备采用多波长光学体系设计，搭载高速扭转Spindle（每一分钟转速＞5000转），并采用多组光电倍增管匹配滤光片举行旌旗灯号收罗。LSR体系实现至多可同时收罗八通道（散射、光致发光、反射、描摹和相位信息等）旌旗灯号，包管高敏捷度的同时也包管了缺陷检测的正确度，并最年夜水平上连结较高的产率（WPH）。
优睿谱建立在2021年，由持久从事半导体行业的海归博士领衔，协同海内资深的半导体前道制程量测装备技能团队配合倡议建立，致力在打造高品质的半导体前道量测装备，提供半导体前道光学丈量、检测以和电机能丈量综合解决方案。
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